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申请/专利权人:内蒙古中环晶体材料有限公司
摘要:本发明揭露了一种单晶拉制方法,包括以下步骤:S1、建立拉单晶数据库;S2、在拉单晶进入放肩工序时,根据单晶目标规格、单晶炉的型号以及热场尺寸、单晶炉内的辅料数据、坩埚内装的原料的数据在所述数据库内整合出一最优存活肩形;S3、结合单晶目标规格、单晶炉的基本参数、单晶炉坩埚内装的原辅料的数据以及所述最优存活肩形在所述数据内整合出一最优放肩方案;S4、根据所述最优放肩方案进行放肩。根据上述方式放肩,相当于给不同炉台定制不同的放肩方案,从而各个单晶炉的放肩成活率都很高,进而提升单晶的生长效率。
主权项:1.一种单晶拉制方法,其特征在于:包括以下步骤:S1、建立拉单晶数据库;S2、在拉单晶进入放肩工序时,根据单晶目标规格、单晶炉的型号以及热场尺寸、单晶炉内的辅料数据、坩埚内装的原料的数据在所述数据库内整合出一最优存活肩形;S3、结合单晶目标规格、单晶炉的基本参数、单晶炉内的辅料数据、坩埚内装的原料的数据以及所述最优存活肩形在所述数据内整合出一最优放肩方案;S4、根据所述最优放肩方案进行放肩;上述步骤S2包括以下步骤:S21、在所述数据库内以所述单晶目标规格、单晶炉的型号以及热场尺寸、单晶炉内的辅料数据、坩埚内装的原料的数据作为筛选条件筛选出条件都符合的肩形;S22、对筛选出来的所有肩形的相关参数进行整合而得出所述最优存活肩形;筛选出来的所有肩形的长度都相等,所述最优存活肩形的长度与该些筛选出来的所有肩形的长度相等;所述步骤S21包括以下具体步骤:S211、以所述单晶目标规格、单晶炉的型号以及热场尺寸、单晶炉内的辅料数据、坩埚内装的原料的数据作为五个筛选条件,以该五个筛选条件的其中之一作为第一为筛选条件进行数据筛选,筛选出第一阶段数据;S212、以另外四个筛选条件的其中之一作为第二筛选条件,在所述第一阶段数据里进行数据筛选,筛选出第二阶段数据;S213、以另外三个筛选条件的其中之一作为第三筛选条件,在所述第二阶段数据里进行数据筛选,筛选出第三阶段数据;S214、以剩下两个中的一个筛选条件作为第四筛选条件,在所述第三阶段数据里进行筛选,筛选出第四阶段数据;S215、以最后一个筛选条件作为第五筛选条件,在所述第四阶段数据里进行筛选,得到的就是所述条件都符合的肩形;所述步骤S22包括以下具体步骤:S221、在每一筛选出来的肩形上均选取N个相间隔的长度节点,且所有肩形上对应的第N个长度节点的长度位置都相等;S222、提取每一筛选出来的肩形每一长度节点所处长度位置的直径;S223、对所有筛选出来的肩形相同长度节点对应的直径取平均值,每一长度节点对应的直径平均值即为所述最优存活肩形对应长度位置的直径;所述最优存活肩形的参数包括所述长度以及对应长度位置的直径;所述步骤S3包括以下步骤:S31、以单晶目标规格、单晶炉的型号以及热场尺寸、单晶炉内的辅料数据、坩埚内装的原料的数据以及所述最优存活肩形在所述数据库内筛选出符合条件的放肩方案;S32、对筛选出来的所有放肩方案的相关参数进行整合而得出所述最优放肩方案;通过该最优放肩方案进行放肩得到的放肩段,其肩形为所述最优存活肩形;所述步骤S31包括以下具体步骤:S311、以所述单晶目标规格、单晶炉的型号以及热场尺寸、单晶炉内的辅料数据、坩埚内装的原料的数据、所述最优存活肩形作为六个筛选条件,以该六个筛选条件的其中之一作为第一为筛选条件进行数据筛选,筛选出第一阶段数据;S312、以另外五个筛选条件的其中之一作为第二筛选条件,在所述第一阶段数据里进行数据筛选,筛选出第二阶段数据;S313、以剩下四个筛选条件的其中之一第三为筛选条件,在所述第二阶段数据里进行数据筛选,筛选出第三阶段数据;S314、以剩下三个筛选条件的其中之一为第四筛选条件,在所述第三阶段数据里进行筛选,筛选出第四阶段数据;S315、以剩下两个筛选条件的其中之一为第五筛选条件,在所述第四阶段数据里进行筛选,筛选出第五阶段数据;S316、以最后一个筛选条件作为第六筛选条件在所述第五阶段数据里进行筛选,得到的就是符合条件的所有放肩方案;所述步骤S32包括以下具体步骤:S321、提取筛选出来的符合条件的所有放肩方案的每一相关参数的数值;S322、每一相关参数均取平均值,每一相关参数的平均值即为所述最优放肩方案对应参数的数值。
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