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申请/专利权人：中科纳米张家港化合物半导体研究所
摘要：本实用新型公开了一种恒温装置以及半导体薄膜方块电阻测试仪，所述恒温装置包括：喷嘴，其上具有相连通的进气口和出气口；供气管道，与所述进气口相连通；控温机构，设置于所述供气管道外，用于调节所述供气管道内的气体的温度。本实用新型的恒温装置以及半导体薄膜方块电阻测试仪可以实现同一温度条件下对半导体晶圆方块电阻的连续测试，避免涡流对样品加热造成样品方块电阻变大。还可以实现不同预设温度条件下，半导体晶圆方块电阻的测试。
主权项：1.一种恒温装置，其特征在于，包括：喷嘴，其上具有相连通的进气口和出气口；供气管道，与所述进气口相连通；控温机构，设置于所述供气管道外，用于调节所述供气管道内的气体的温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中科纳米张家港化合物半导体研究所 恒温装置以及半导体薄膜方块电阻测试仪
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