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申请/专利权人：长沙市熔材科技有限公司
摘要：本发明公开了一种氧解离辅助物理气相沉积制备热障涂层的装置与方法，采用电子束物理气相沉积方法制备热障涂层时，在高温、高真空状态下的制备腔体沉积室中，利用电子枪发射出高能量的电子束轰击陶瓷靶材，使其融化蒸发后沉积在基片上；本发明在电子束轰击靶材的过程中，同时向气体电离室通入一定量的氧气，利用外部电源构成气体电离系统向气体电离室施加高压，将通入的氧气电离成氧离子，形成氧等离子体，然后释放到真空沉积室中；由于电离产生的氧等离子体具有高化学活性，可以与电子束轰击靶材产生的离子态物质更好的结合，在热障涂层物理气相沉积制备过程中起到充分补氧的作用。
主权项：1.一种氧解离辅助物理气相沉积制备热障涂层的装置，其特征在于，包括真空沉积室5，所述真空沉积室5的内部设置有多个加热器6，所述真空沉积室5的内部还设置有夹具4，所述夹具4上安装有沉积基板7；所述真空沉积室5的底部内壁上设置有气体电离室11，所述气体电离室11通过导线与外部电源9连接，外部电源9和气体电离室11构成气体电离系统，所述气体电离室11上还设置有气体通入口10；所述真空沉积室5的底部设置有电子枪12，所述真空沉积室5的底部内壁中心处设置有铜质水冷坩埚2，所述铜质水冷坩埚2上放置有陶瓷靶材3；所述真空沉积室5的箱门上嵌入安装有隔热箱51，所述隔热箱51的一侧设置有可拆卸的滤网56，所述滤网56的一侧固定安装有散热风扇55，所述散热风扇55的一侧固定安装有盘式循环水管54，所述盘式循环水管54的一侧对称安装有两个隔热板53，两个隔热板53不相邻的一端均设置有电动伸缩杆57，两个隔热板53的一侧设置有排风罩52。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长沙市熔材科技有限公司 一种氧解离辅助物理气相沉积制备热障涂层的装置与方法
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