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申请/专利权人:中兴通讯股份有限公司
摘要:本申请公开了一种高电子迁移率晶体管、制备方法及电子设备,属于半导体技术领域,用以提高高电子迁移率晶体管的击穿电压。所述高电子迁移率晶体管包括:高电子迁移率晶体管主体;目标钝化层,所述目标钝化层位于所述高电子迁移率晶体管主体的上方,所述目标钝化层的第一拐角部位为倾斜结构;第一场板金属层,所述第一场板金属层位于所述目标钝化层的上方,所述第一场板金属层的第二拐角部位为所述倾斜结构,所述第一拐角部位与所述第二拐角部位存在对应关系。
主权项:1.一种高电子迁移率晶体管,其特征在于,包括:高电子迁移率晶体管主体;目标钝化层,所述目标钝化层位于所述高电子迁移率晶体管主体的上方,所述目标钝化层的第一拐角部位为倾斜结构;第一场板金属层,所述第一场板金属层位于所述目标钝化层的上方,所述第一场板金属层的第二拐角部位为所述倾斜结构,所述第二拐角部位与所述第一拐角部位存在对应关系。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中兴通讯股份有限公司 高电子迁移率晶体管、制备方法及电子设备
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