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申请/专利权人:TDK株式会社
摘要:本发明是收纳单晶生长用原料熔融液8并使其固化的单晶生长用坩埚5A,其具备:围绕原料熔融液8的侧壁部5s、及连续于侧壁部5s并支撑原料熔融液8的底部5b,侧壁部5s在横截面图中,在内侧具有周长冗余性。侧壁部5s在横截面图中,在任一部位上在内侧具有周长冗余的部位,如果在单晶生长后的冷却步骤中单晶生长用坩埚5A被冷却,则在横截面图中,在内侧周长冗余的部位向单晶生长用坩埚5A的外侧扩展。
主权项:1.一种单晶生长用坩埚,其中,所述单晶生长用坩埚收纳单晶生长用原料熔融液并使其固化,具备:围绕所述原料熔融液的侧壁部、及连续于所述侧壁部并支撑所述原料熔融液的底部,在横穿单晶的水平面S上,规定水平面S上的坩埚截面区域C,在包含坩埚截面区域C的水平面S上的闭合曲线L之中,将闭合曲线L的周长成为最短的闭合曲线Lmin的周长设为lmin,并将示出坩埚截面区域C的边界的闭合曲线R的周长设为r时,r为比lmin长的状态,且闭合曲线R位于闭合曲线Lmin的内侧,所述侧壁部在横截面图中,由圆滑的闭合曲线构成。
全文数据:
权利要求:
百度查询: TDK株式会社 单晶生长用坩埚、单晶制造方法及单晶
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