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申请/专利权人：深圳密勒半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种TVS芯片加工用蚀刻装置，涉及TVS芯片加工技术领域。本实用新型包括蚀刻池和放置框，所述蚀刻池的侧面固定贯穿有排液管，所述蚀刻池的顶部开设有开口，所述蚀刻池的前端开设有透明观察窗，所述蚀刻池的内侧壁上开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述蚀刻池的内侧壁上固定连接有固定板，所述固定板的顶部转动连接有螺纹杆，本实用新型通过设置有充分接触机构，从而达到了可以开启电机带动转轴转动，转轴转动带动主搅拌叶转动对蚀刻池底部蚀刻液进行搅动形成流动，同时还会通过转动齿轮、齿杆等组件带动放置板以及其上的TVS芯片反复上下移动，使TVS芯片与蚀刻液接触更加充分，提高蚀刻效率。
主权项：1.一种TVS芯片加工用蚀刻装置，包括蚀刻池1和放置框10，其特征在于：所述蚀刻池1的侧面固定贯穿有排液管2，所述蚀刻池1的顶部开设有开口3，所述蚀刻池1的前端开设有透明观察窗4，所述蚀刻池1的内侧壁上开设有滑槽5，所述滑槽5的内部滑动连接有滑块6，所述蚀刻池1的内侧壁上固定连接有固定板7，所述固定板7的顶部转动连接有螺纹杆8，所述蚀刻池1的顶部固定安装有旋转电机9，所述旋转电机9的输出轴与螺纹杆8的顶部固定连接，所述滑块6与螺纹杆8螺纹连接，所述滑块6远离滑槽5的一端与放置框10的侧面固定连接，所述蚀刻池1的内部设置有充分接触机构11，所述放置框10的底部设置有辅助搅拌机构12；所述充分接触机构11包括搅拌电机111、转轴112和滑杆115，所述搅拌电机111固定安装在蚀刻池1远离排液管2的一侧，所述转轴112转动连接在蚀刻池1的内部，所述转轴112的表面固定连接有主搅拌叶113、转动齿轮114，所述滑杆115滑动连接在放置框10的内部底部，所述滑杆115的顶部固定连接有放置板116，所述滑杆115的底部固定连接有连接板117，所述连接板117的底部固定连接有配重块118和齿杆119。
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权利要求：
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