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申请/专利权人：无锡格锐德半导体科技有限公司

摘要：本申请涉及晶体加工技术领域，提供一种立轴式半导体晶棒加工装置，包括机床床身，机床床身的一侧设置有自动上下料机构，其包括用于确定晶棒中心点的定心单元、用于夹取晶棒的夹取单元、以及用于放置加工完成的晶棒的下料单元；机床床身上设置有用于完成定心的晶棒进行滚圆加工的滚圆加工机构、用于对完成滚圆加工的晶棒进行晶体定向和磨边加工或者晶体定向和磨槽加工的定向磨边磨槽转换机构、用于沿着X轴方向对滚圆或者磨边或者磨槽加工进给的主进给机构，以及用于对晶棒进行对顶夹持同时让晶棒旋转的工件主轴机构。可实现晶体加工过程中多工序在单个设备上的一体化加工，自动化集成化程度高，可提高加工稳定性、提高加工效率、提高加工精度。

主权项：1.一种立轴式半导体晶棒加工装置，包括机床床身，其特征在于：所述机床床身的一侧设置有自动上下料机构，其包括用于确定晶棒中心点的定心单元、用于夹取晶棒的夹取单元、以及用于放置加工完成的晶棒的下料单元；所述机床床身上设置有用于完成定心的晶棒进行滚圆加工的滚圆加工机构、用于对完成滚圆加工的晶棒进行晶体定向和磨边加工或者晶体定向和磨槽加工的定向磨边磨槽转换机构、用于沿着X轴方向对滚圆加工进给或者磨边加工进给或者磨槽加工进给的主进给机构，以及用于对晶棒进行对顶夹持同时让晶棒旋转的工件主轴机构；所述滚圆加工机构包括设置在所述机床床身上的第三底座；所述第三底座上设置有第二导轨、与所述第二导轨滑动连接的第二滑台、固定设置在所述第二滑台上的第一电主轴、与所述第一电主轴传动连接的滚圆砂轮、与所述第二滑台通过第二螺母座螺纹连接的第二滚珠丝杠，以及与所述第二滚珠丝杠传动连接的第三伺服电机，所述滚圆砂轮在第三伺服电机的动力传动下沿着Z轴进行往复运动，用于对晶棒进行滚圆加工；所述定向磨边磨槽转换机构包括设置在所述机床床身上的第六底座；所述第六底座上设置有第三导轨、与所述第三导轨滑动连接的第三滑台、与所述第三滑台固定连接的磨边磨槽加工单元、与所述第三滑台固定连接的定向仪单元、与所述第三滑台通过第三螺母座螺纹连接的第三滚珠丝杠，以及与所述第三滚珠丝杠传动连接的第四伺服电机，所述第四伺服电机带动所述第三滑台在所述第三导轨上沿着Y轴方向运动；所述定向仪单元包括设置在所述第三滑台上的第四底座，所述第四底座上设置有探针，发射器，接收器，防护罩壳，设置在防护罩壳上的开关气缸以及设置在防护罩壳上的防护盖板，所述探针在所述第四伺服电机的动力传动下沿着Y轴方向运动；所述磨边磨槽加工单元包括，设置在所述第三滑台上的第五底座，所述第五底座上设置有第四导轨，与所述第四导轨滑动连接的第四滑台，设置在所述第四滑台上的第二电主轴，与所述第二电主轴传动连接的砂轮，与所述第四滑台通过螺母座螺纹连接的第四滚珠丝杠，与第四滚珠丝杠传动连接的第五伺服电机，所述第五伺服电机带动所述第四滑台在所述第四导轨上沿着Z轴方向运动；所述砂轮为磨槽砂轮或者磨边砂轮，用于磨槽加工或者磨边加工。

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