龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：苏州矩阵光电有限公司
摘要：本发明提供一种热控分区腐蚀晶圆的装置及方法，装置包括隔离网筒和温控腐蚀系统；隔离网筒包括筒壁和隔离网壁，隔离网筒用于套设于晶圆外围，隔离网壁用于将晶圆表面分隔成多个相互独立的腐蚀区域，并与晶圆表面具有间距以形成非接触气隙，基于液体表面张力使得腐蚀液不会进入到与该腐蚀区域相邻的另一个腐蚀区域；温控腐蚀系统包括温度控制器、加热驱动器、加热单元与腐蚀液管路。本发明的热控分区腐蚀晶圆的装置设备结构简单，且易于操作，用于晶圆表面处理具有高效，低成本的优势。
主权项：1.一种热控分区腐蚀晶圆的装置，其特征在于，所述装置包括隔离网筒和温控腐蚀系统；所述隔离网筒包括筒壁和隔离网壁，所述隔离网筒用于套设于晶圆外围，并与所述晶圆共同被真空吸附台吸附固定；所述隔离网壁固定于所述筒壁内，用于将晶圆表面分隔成多个相互独立的腐蚀区域，当所述筒壁被真空吸附台固定时，所述隔离网壁延伸至晶圆表面上方，并与晶圆表面具有间距以形成非接触气隙，所述非接触气隙被配置为当腐蚀液进入某一个腐蚀区域时，基于液体表面张力使得腐蚀液不会进入到与该腐蚀区域相邻的另一个腐蚀区域；所述温控腐蚀系统包括温度控制器、加热驱动器、加热单元与腐蚀液管路，其中，加热单元包括加热器和温度探测器，每个所述腐蚀区域对应设置有一个所述加热单元；所述温度控制器用于将功率信号传给加热驱动器以控制各加热器进行加热，各所述温度探器用于测量腐蚀区域的实时温度并反馈至温度控制器，通过温度控制器对所述加热器的功率进行闭环控制从而实现准确控温；所述腐蚀液管路用于向所述腐蚀区域加注腐蚀液。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州矩阵光电有限公司 热控分区腐蚀晶圆的装置及方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号