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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本发明提供了一种抽气环调节机构及一种半导体加工设备。所述抽气环调节机构包括驱动电机、滑轨、滑块及支撑杆。所述驱动电机用于提供驱动力。所述滑轨设于半导体加工设备的工艺腔室的外部，并沿纵向延伸。所述滑块用于在所述驱动电机的驱动下，沿所述滑轨进行纵向移动。所述支撑杆的第一端连接所述滑块，其第二端穿过所述工艺腔室的外壁连接所述工艺腔室内部的抽气环的第一环体。所述抽气环环绕晶圆托盘设置，并包括至少两个环体。所述第一环体与第二环体之间保持一抽气间隙，以供外部的抽气模块经由所述抽气间隙从所述晶圆托盘上方抽气。所述支撑杆带动所述第一环体进行纵向位移，以调节经由所述抽气间隙的抽气速率。
主权项：1.一种抽气环调节机构，其特征在于，包括：驱动电机，用于提供驱动力；滑轨，设于半导体加工设备的工艺腔室的外部，并沿纵向延伸；滑块，用于在所述驱动电机的驱动下，沿所述滑轨进行纵向移动；以及支撑杆，其第一端连接所述滑块，其第二端穿过所述工艺腔室的外壁连接所述工艺腔室内部的抽气环的第一环体，其中，所述抽气环环绕晶圆托盘设置，并包括至少两个环体，所述第一环体与第二环体之间保持一抽气间隙，以供外部的抽气模块经由所述抽气间隙从所述晶圆托盘上方抽气，所述支撑杆带动所述第一环体进行纵向位移，以调节经由所述抽气间隙的抽气速率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 抽气环调节机构及半导体加工设备
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