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申请/专利权人：晶科能源(海宁)有限公司
摘要：本发明提供了一种TOPCON电池的制备方法及TOPCON电池，制备方法包括步骤：对硅片进行多次双面制绒，双绒面结构进一步提升双面率，节省单面制绒所需的碱抛工序，降低成本；在正面沉积多晶硅后再进行磷扩形成掺杂多晶硅层和磷硅玻璃，或，进行磷扩形成磷扩散层和磷硅玻璃，省去沉积多晶硅的工序，降低成本；利用磷硅玻璃和硼硅玻璃代替掩膜，省去了掩膜工艺，降低成本；激光开模形成局域化发射极，有助于减少扩散层带来的复合，提升电池的开路电压；对硅片进行第三次双面制绒后双面圆润化，提升钝化效果，提升电池的光吸收能力和载流子的生成能力，本发明提供的TOPCON电池能同时显著提升开路电压，填充因子以及双面率。
主权项：1.一种TOPCON电池的制备方法，其特征在于，包括步骤：提供硅片，所述硅片包括沿第一方向相对设置的正面和背面，所述第一方向为硅片的厚度方向；对所述硅片进行第一次双面制绒，在所述正面和所述背面形成第一绒面；对所述背面进行硼扩形成硼扩散层和硼硅玻璃；对所述硅片进行第二次双面制绒，在所述正面和所述背面形成第二绒面；在所述正面沉积多晶硅后再进行磷扩形成掺杂多晶硅层和磷硅玻璃，或，直接在所述正面进行磷扩形成磷扩散层和磷硅玻璃；激光开模形成局域化发射极；对所述硅片进行第三次双面制绒，去除所述磷硅玻璃和所述硼硅玻璃，在所述正面和所述背面形成第三绒面，或，对所述硅片进行第三次双面制绒和双面圆润化，在所述正面和所述背面形成圆润化绒面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 晶科能源(海宁)有限公司 一种TOPCON电池的制备方法及TOPCON电池
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