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申请/专利权人：天合光能股份有限公司
摘要：本发明涉及太阳电池技术领域，具体提供一种TOPCon电池的制备方法及TOPCon电池，本发明TOPCon电池的制备方法包括：提供衬底，在所述衬底的第一表面上依次形成阻挡层和第一本征多晶硅层；对所述阻挡层和第一本征多晶硅层进行图案化，以在第一区域形成台面结构并且在第二区域露出所述第一表面；在所述台面结构和露出的所述第一表面上引入第一掺杂源，以分别形成第一掺杂层和第二掺杂层；在所述第一掺杂层和第二掺杂层上形成钝化减反层；在所述钝化减反层上形成第一电极和第二电极，其中所述第一电极和第二电极分别穿过所述钝化减反层与所述第一掺杂层形成欧姆接触。本发明降低了金属接触复合同时降低高温对硅片损伤。
主权项：1.一种TOPCon电池的制备方法，其特征在于，包括：提供衬底，所述衬底包括第一表面，所述第一表面包括第一区域和第二区域；在所述衬底的第一表面上依次形成阻挡层和第一本征多晶硅层；对所述阻挡层和第一本征多晶硅层进行图案化，以在第一区域形成台面结构并且在第二区域露出所述第一表面；在所述台面结构和露出的所述第一表面上引入第一掺杂源，以分别形成第一掺杂层和第二掺杂层；在所述第一掺杂层和第二掺杂层上形成钝化减反层；在所述钝化减反层上形成第一电极和第二电极，其中所述第一电极和第二电极分别穿过所述钝化减反层与所述第一掺杂层形成欧姆接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天合光能股份有限公司 TOPCon电池的制备方法及TOPCon电池
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