龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司
摘要：本发明涉及一种埋入式位线及其形成方法，埋入式位线形成于衬底内的位线沟槽中，埋入式位线包括：第一位线层，形成于位线沟槽中，且第一位线层的顶部低于衬底的表面第一阻挡层，至少部分形成于第一位线层和位线沟槽的内壁之间；第二位线层，形成于位线沟槽中，用于连通第一位线层和衬底内的漏极区。通过设置埋入式位线，可以有效降低存储器整体的寄生电容，改善数据信息传输的延迟的问题。而且，通过设置第一阻挡层，可以有效防止第一位线层的材料的扩散现象，即防止第一位线层的损伤，以避免第一位线层的导电性能降低、电阻增大的问题，从而进一步降低了埋入式位线的RC延迟，提高了存储器的数据传输速度和可靠性。
主权项：1.一种埋入式位线，形成于衬底内的位线沟槽中，其特征在于，所述埋入式位线包括：第一位线层，形成于所述位线沟槽中，且所述第一位线层的顶部低于所述衬底的表面；第一阻挡层，至少部分形成于所述第一位线层和所述位线沟槽的内壁之间；第二位线层，形成于所述位线沟槽中，用于连通所述第一位线层和所述衬底内的漏极区；第三阻挡层，所述第三阻挡层形成于所述第二位线层与所述第一位线层之间，所述第三阻挡层和所述第一位线层之间形成有接触金属层，所述接触金属层和所述第三阻挡层形成欧姆接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长鑫存储技术有限公司 埋入式位线及其形成方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号