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申请/专利权人：细美事有限公司
申请日：2023-11-17
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN118147612A
主分类号：C23C16/455
分类号：C23C16/455;C23C16/44;C23C16/02;H01L21/02
优先权：["20221205 KR 10-2022-0167368"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.07#公开
摘要：提供一种使用超临界流体的衬底处理装置，该装置能够在具有高深宽比的沟槽中沉积共形膜并且能够执行无空隙的完全间隙填充。衬底处理装置包括：上容器，包括第一主体和供应端口，该供应端口形成在第一主体中并供应工艺流体；挡板，安装在上容器中，并通过扩散工艺流体将通过供应端口供应的工艺流体供应到处理空间；下容器，包括第二主体和排出端口，该排出端口形成在第二主体中并从处理空间排出工艺流体；以及支撑板，安装在下容器中以面向挡板并支撑衬底，其中，当在处理空间中执行超临界工艺时，加热支撑板，使得支撑板的温度高于第一主体的温度。
主权项：1.一种衬底处理装置，包括：上容器，包括第一主体和供应端口，所述供应端口形成在所述第一主体中并且供应工艺流体；挡板，安装在所述上容器中，并通过扩散所述工艺流体将通过所述供应端口供应的所述工艺流体供应到处理空间；下容器，包括第二主体和排出端口，所述排出端口形成在所述第二主体中并且从所述处理空间排出所述工艺流体；以及支撑板，安装在所述下容器中以面向所述挡板并支撑衬底，其中，当在所述处理空间中执行超临界工艺时，加热所述支撑板，使得所述支撑板的温度高于所述第一主体的温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 使用超临界流体的衬底处理装置
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