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申请/专利权人:华海清科(北京)科技有限公司;华海清科股份有限公司
摘要:本申请公开了一种用于基板磨削的搬运装置、搬运设备以及基板磨削装备,用于基板磨削的搬运装置,包括:支撑部件,用于带动基板移动;保持部件,安装于支撑部件,用于吸附基板;保持部件包括:支撑架,固定设置在支撑部件上;吸附垫,可伸缩地设置在支撑架上;环形吸盘,固定设置在支撑架上,且与吸附垫同心;保持部件包括通过吸附垫吸附基板的第一吸附模式,以及通过环形吸盘吸附基板的第二吸附模式。
主权项:1.一种用于基板磨削的搬运装置,其特征在于,包括:支撑部件,用于带动基板移动;保持部件,安装于所述支撑部件,用于吸附基板;所述保持部件包括:支撑架,固定设置在所述支撑部件上;吸附垫,可伸缩地设置在所述支撑架上;环形吸盘,固定设置在所述支撑架上,且与所述吸附垫同心;所述保持部件包括通过所述吸附垫吸附基板的第一吸附模式,以及通过所述环形吸盘吸附基板的第二吸附模式。
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权利要求:
百度查询: 华海清科(北京)科技有限公司 华海清科股份有限公司 用于基板磨削的搬运装置、搬运设备以及基板磨削装备
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