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【实用新型】晶棒切割装置机头组件及晶棒切割系统_青岛高测科技股份有限公司_202322303331.X 

申请/专利权人:青岛高测科技股份有限公司

申请日:2023-08-25

公开(公告)日:2024-06-18

公开(公告)号:CN221161074U

主分类号:B28D7/00

分类号:B28D7/00;B28D5/04

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.18#授权

摘要:本实用新型公开了一种晶棒切割装置机头组件,包括至少一个用于切割待加工晶棒的机头,机头包括机头框架,机头框架的中部形成有夹取空间,机头框架的侧部设置有开口部,开口部在机头框架的一侧形成滑移空间;同时公开了一种晶棒切割系统。本实用新型中机头组件的单侧开口结构可实现侧向滑移卸载边皮,减小了液体的表面张力对边皮卸载过程的不利影响,机头组件既可进行圆棒开方,又能够进行半棒切割。

主权项:1.一种晶棒切割装置机头组件,其特征在于,包括至少一个用于切割待加工晶棒的机头,机头包括机头框架,机头框架的中部形成有夹取空间,机头框架的侧部设置有开口部,开口部在机头框架的一侧形成滑移空间。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 青岛高测科技股份有限公司 晶棒切割装置机头组件及晶棒切割系统

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