龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：青岛歌尔智能传感器有限公司
申请日：2020-11-19
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN112333617B
主分类号：H04R19/04
分类号：H04R19/04
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2021.02.26#实质审查的生效;2021.02.05#公开
摘要：本发明公开一种MEMS芯片和MEMS麦克风。其中，MEMS芯片包括振膜，所述振膜具有通气结构；背极，所述背极包括背极本体和泄压阀，所述背极本体与所述振膜之间形成间隙，所述背极本体上还设有连通所述间隙的第一泄压孔，所述第一泄压孔对应所述通气结构设置，所述泄压阀连接于所述背极本体并可活动地封堵或打开所述第一泄压孔；以及束缚件，所述束缚件设于所述背极背离所述振膜的一侧，并连接所述背极本体和所述泄压阀，所述束缚件束缚所述泄压阀，以使所述泄压阀打开所述第一泄压孔。本发明技术方案旨在保证MEMS芯片工作稳定性的同时，提高MEMS芯片对低频声压的感应灵敏度。
主权项：1.一种MEMS芯片，其特征在于，包括：振膜，所述振膜具有通气结构；背极，所述背极包括背极本体和泄压阀，所述背极本体与所述振膜之间形成间隙，所述背极本体上还设有连通所述间隙的第一泄压孔，所述第一泄压孔对应所述通气结构设置，所述泄压阀连接于所述背极本体并可活动地封堵或打开所述第一泄压孔；以及束缚件，所述束缚件设于所述背极背离所述振膜的一侧，并连接所述背极本体和所述泄压阀，所述束缚件束缚所述泄压阀，以使所述泄压阀打开所述第一泄压孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛歌尔智能传感器有限公司 MEMS芯片和MEMS麦克风
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号