龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：TOTO株式会社
申请日：2020-03-04
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN111668150B
主分类号：H01L21/683
分类号：H01L21/683;H01L21/67;H01J37/32
优先权：["20190305 JP 2019-039863","20200130 JP 2020-013617"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2021.10.29#实质审查的生效;2020.09.15#公开
摘要：本发明的静电吸盘具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面、第2主面；基座板，具有气体导入路；第1多孔质部，与所述气体导入路相对；及第2多孔质部，所述陶瓷电介体基板具有所述第1主面及第1孔部，所述第1多孔质部具有：第1多孔区域；及第1致密区域，所述第1多孔区域还具有第1致密部，所述第2多孔质部具有：第2多孔区域；及第2致密区域，所述第2多孔区域还具有第2致密部，当向垂直于从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的第1方向的平面进行投影时，构成为所述第1致密部与所述第1孔部发生重叠，所述第2致密部的一部分与所述第1致密部的一部分发生重叠，或者所述第2致密部的一部分与所述第1致密部的一部分接触。
主权项：1.一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面；基座板，支撑所述陶瓷电介体基板且具有气体导入路；第1多孔质部，设置于所述陶瓷电介体基板且与所述气体导入路相对；及第2多孔质部，设置于所述基座板且与所述气体导入路相对，其特征为，所述陶瓷电介体基板具有位于所述第1主面与所述第1多孔质部之间的第1孔部，所述第1多孔质部具有：第1多孔区域，具有多个孔；及第1致密区域，比所述第1多孔区域更致密，所述第1多孔区域还具有至少1个第1致密部，所述第2多孔质部具有：第2多孔区域，具有多个孔；及第2致密区域，比所述第2多孔区域更致密，所述第2多孔区域还具有至少1个第2致密部，将从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的方向作为第1方向，将与所述第1方向正交的方向作为第2方向时，当向垂直于所述第1方向的平面进行投影时，构成为所述第1致密部与所述第1孔部发生重叠，所述第2致密部的至少一部分与所述第1致密部的至少一部分发生重叠，或者所述第2致密部的至少一部分与所述第1致密部的至少一部分接触。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号