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申请/专利权人：浙江珏芯微电子有限公司
摘要：本发明公开了一种自动调温的碲锌镉单晶VGF生长装置及方法，包括：包括炉膛、设于炉膛内的坩埚，还包括：测温热偶机构，测温热偶机构包括多个测温热偶，驱动机构驱动多个测温热偶同步且匀速地向上或向下运动；多个测温热偶中至少包括第一测温热偶、第二测温热偶和第三测温热偶；第一测温热偶的测温部与第二测温热偶的测温部在竖直方向上具有间距，第二测温热偶的测温部与第三测温热偶的测温部在竖直方向上具有间距。本发明在长晶过程实现温度实时调控，实现长晶过程中实现调节，重复性好，能够保证以晶锭生长过程中头、中、尾均以恒定温度梯度实现长晶，能够确保长晶过程中以恒定的速度实现VGF长晶工艺。
主权项：1.一种自动调温的碲锌镉单晶VGF生长装置，包括炉膛、设于所述炉膛内的坩埚，其中，所述坩埚相对于所述炉膛静止，其特征在于，还包括：测温热偶机构，所述测温热偶机构包括三个或三个以上的测温热偶，多个所述测温热偶均布置于所述坩埚和所述炉膛之间，驱动机构驱动多个所述测温热偶同步且匀速地向上或向下运动；多个所述测温热偶中至少包括第一测温热偶、第二测温热偶和第三测温热偶；所述第一测温热偶的测温部与所述第二测温热偶的测温部在竖直方向上具有间距，所述第二测温热偶的测温部与所述第三测温热偶的测温部在竖直方向上具有间距。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江珏芯微电子有限公司 一种自动调温的碲锌镉单晶VGF生长装置及方法
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