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申请/专利权人:长鑫存储技术有限公司
摘要:本申请涉及一种存储器结构及其制备方法,其中存储器结构的制备方法包括:提供基底,基底包括底层衬底、第一介质层以及第一衬底层,第一介质层位于底层衬底与第一衬底层之间;基于第一衬底层形成第一电路结构;将基底翻转,使得第一介质层处于第一电路结构上方;于第一介质层上方形成第二电路结构;形成连接第一电路结构与第二电路结构的导电结构。本申请实施例可以有效提高集成电路的集成度。
主权项:1.一种存储器结构的制备方法,其特征在于,包括:提供基底,所述基底包括底层衬底、第一介质层以及第一衬底层,所述第一介质层位于所述底层衬底与所述第一衬底层之间;基于所述第一衬底层形成第一电路结构;将所述基底翻转,使得所述第一介质层处于所述第一电路结构上方;于所述第一介质层上方形成第二电路结构;形成连接所述第一电路结构与所述第二电路结构的导电结构。
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