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申请/专利权人：苏州海通机器人系统有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆机械手结构，包括机械手基体，以及设置在机械手基体上的晶圆限位装置；所述机械手基体包括对合设置的上手盘和下手盘，上手盘和下手盘均包括基体头部和基体根部；所述下手盘上设置有若干个分散位于基体头部区域的气体喷射口，所述气体喷射口向外喷射气流；所述晶圆限位装置包括若干个滑动设置在所述机械手基体上的限位滑块，若干个所述限位滑块能相对开合位移。本实用新型公开一种晶圆机械手结构，利用伯努利吸盘原理，将高压气体在出口喷射形成气旋产生负压将晶圆悬空吸起。实现晶圆的无接触搬运，提升了晶圆搬运的稳定性和安全性。
主权项：1.一种晶圆机械手结构，其特征在于：包括机械手基体（1），以及设置在机械手基体（1）上的晶圆限位装置（2）；所述机械手基体（1）包括对合设置的上手盘（13）和下手盘（14），上手盘（13）和下手盘（14）均包括基体头部（11）和基体根部（12）；所述下手盘（14）上设置有若干个分散位于基体头部（11）区域的气体喷射口（16）；所述气体喷射口（16）向外喷射气流，使所述气体喷射口（16）的周围的气压低于周围环境气压；所述晶圆限位装置（2）包括若干个滑动设置在所述机械手基体（1）上的限位滑块，若干个所述限位滑块能相对开合位移。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州海通机器人系统有限公司 一种晶圆机械手结构
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