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申请/专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
摘要：本发明提供一种基片交接装置及基片交接方法，所述基片交接装置包括：机械手、定位单元和限位单元；所述限位单元包括阻挡件和抵靠件，所述阻挡件固定于所述机械手的下方，所述阻挡件包括分别沿水平方向设置的第一横向部，所述第一横向部的高度低于所述定位单元与所述机械手进行水平接触定位的水平面高度，所述抵靠件沿水平方向设置于所述定位单元，在所述机械手和所述定位单元水平接触定位后，所述抵靠件保持抵靠于所述第一横向部的下方。在提供的所述基片交接装置的基础上，本发明提供的所述基片交接方法对交接流程进行了改进，降低了摩擦力不足导致的交接精度损失问题，同时避免了所述定位单元垂向弹起导致的设备或物料损害的风险。
主权项：1.一种基片交接装置，其特征在于，包括：机械手、定位单元和限位单元；所述定位单元做垂向运动，且所述定位单元通过与所述机械手水平接触定位，以限定所述机械手在水平方向上的位置；所述限位单元包括阻挡件和抵靠件，所述阻挡件固定于所述机械手的下方，所述阻挡件包括沿水平方向设置的第一横向部，所述第一横向部的高度低于所述定位单元与所述机械手进行水平接触定位的水平面高度，所述抵靠件沿水平方向设置于所述定位单元，在所述机械手和所述定位单元水平接触定位后，所述抵靠件保持抵靠于所述第一横向部的下方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海微电子装备(集团)股份有限公司 基片交接装置及基片交接方法
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