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申请/专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
摘要：本发明提出了一种机械手臂装置及其使用方法、基片处理系统，该机械手臂装置位于一用于放置基片的传输真空腔室内，包括由上到下依次平行设置的手臂本体、升降导轨和磁耦式无杆气缸；磁耦式无杆气缸固定于传输真空腔室且连接竖直设置的导向杆，所有导向杆均套设于固定块上；固定块朝向通孔的一侧连接手臂本体；导向杆位于升降导轨的外侧；升降导轨的一端套设于一支撑杆，另一端与一升降气缸的气缸杆连接；升降导轨位于传输真空腔室外；固定块的底面固定一连接杆，连接杆的下端固定一滚动轮；滚动轮与升降导轨接触。本发明可实现取片和放片工序，避免了顶针提升机构对基片造成的摩擦，且运行平稳，降低了基片的损坏率。
主权项：1.一种机械手臂装置，位于一用于放置基片的传输真空腔室内，所述传输真空腔室上开设一连通工艺腔室的通孔；其特征在于，包括由上到下依次平行设置的手臂本体、升降导轨和磁耦式无杆气缸；所述磁耦式无杆气缸固定于所述传输真空腔室；所述磁耦式无杆气缸的执行元件上固定若干竖直设置的导向杆，所有所述导向杆均套设于一固定块上；所述固定块朝向所述通孔的一侧连接所述手臂本体；所述导向杆位于所述升降导轨的外侧；所述升降导轨的一端套设于一支撑杆，所述支撑杆固定于所述传输真空腔室内；所述升降导轨的另一端与一升降气缸的气缸杆连接；所述升降导轨位于所述传输真空腔室外且固定于所述传输真空腔室；所述固定块的底面固定一连接杆，所述连接杆的下端固定一滚动轮；所述滚动轮与所述升降导轨接触；所述升降导轨包括与支撑柱连接的第一水平段、过渡段和与所述气缸杆连接的第二水平段；其中，所述第一水平段、过渡段和第二水平段依次连接；所述第二水平段高于所述第一水平段。
全文数据：
权利要求：
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