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对准装置、对准方法及成膜装置 

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申请/专利权人:佳能特机株式会社

摘要:本发明提供一种能够高精度地进行对准的对准装置、对准方法及成膜装置。该对准装置进行第一构件与第二构件的对位,其特征在于,所述对准装置具有:拍摄部件,其能够对第一构件和第二构件进行拍摄;检测部件,其根据利用拍摄部件对设置有第一对准标记的第一构件和第二构件进行拍摄而得到的第一图像,对第一对准标记进行检测;以及位置调整部件,其基于由检测部件检测出的第一对准标记的位置,对第一构件与第二构件的相对位置进行调整,检测部件将第一图像中的一部分的区域设定为搜索区域,并在搜索区域内检测第一对准标记。

主权项:1.一种对准装置,所述对准装置进行第一构件与第二构件的对位,其特征在于,所述对准装置具有:拍摄部件,所述拍摄部件能够对所述第一构件和所述第二构件进行拍摄;检测部件,所述检测部件根据利用所述拍摄部件对设置有第一对准标记的所述第一构件和所述第二构件进行拍摄而得到的第一图像,对所述第一对准标记进行检测;以及位置调整部件,所述位置调整部件基于由所述检测部件检测出的所述第一对准标记的位置,对所述第一构件与所述第二构件的相对位置进行调整,所述检测部件将所述第一图像中的一部分的区域设定为搜索区域,并在所述搜索区域内对所述第一对准标记进行检测。

全文数据:

权利要求:

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