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申请/专利权人：广州增芯科技有限公司
摘要：本发明提供了一种涂胶显影机的监控处理系统，监控处理系统监控涂胶显影机冷盘和热盘各区域的温度变化；该系统包括：冷盘和热盘上各区域分布的温度传感器；涂胶显影机的数据交互接口；故障检测和分类装置，通过涂胶显影机的数据交互接口接收温度传感器的温度数据；数据分析处理模块，安装于故障检测和分类装置，对温度传感器的温度数据进行分析处理；依据冷盘或热盘的温度变化率是否超出预设阈值判断对应于温度传感器的冷盘或热盘的工作是否存在异常。本发明通过实时获取冷盘和热盘的温度数据，得到承载晶圆时冷盘或热盘的温度变化率，并通过冷盘或热盘的温度变化率，实现对涂胶显影机中处于光刻工艺中的晶圆线宽、膜厚不均匀异常来源的监控。
主权项：1.一种涂胶显影机的监控处理系统，其特征在于，所述监控处理系统监控所述涂胶显影机冷盘和热盘各区域的温度变化；所述监控处理系统包括：冷盘和热盘上各区域分布的温度传感器；涂胶显影机的数据交互接口；故障检测和分类装置，通过所述涂胶显影机的数据交互接口接收所述温度传感器的温度数据；数据分析处理模块，安装于所述故障检测和分类装置，对所述温度传感器的温度数据进行分析处理；依据所述冷盘或热盘的温度变化率是否超出预设阈值判断对应于所述温度传感器的冷盘或热盘的工作是否存在异常。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州增芯科技有限公司 涂胶显影机的监控处理系统
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