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申请/专利权人:中国科学技术大学
摘要:本发明涉及微电子领域,公开了一种太赫兹波段的表面等离子体激元发生器,包括:具有收容空间的主体部,固定在所述主体部上的表面等离子体激元波导;激光发生件,所述激光发生件用于产生激光照射在所述表面等离子体激元波导表面;所述表面等离子体激元波导包括激光照射部,所述激光照射在所述激光照射部上产生表面等离子体激元,所述激光照射部设置在所述收容空间内;套管,所述套管套设在所述激光照射部上,且所述套管的延伸方向与所述激光照射部的延伸方向相同。与现有技术相比,本发明实施例所提供的表面等离子体激元发生器具有在产生大功率太赫兹波段的表面等离子体激元的同时减小表面等离子体激元发生器的体积的优点。
主权项:1.一种太赫兹波段的表面等离子体激元发生器,其特征在于,包括:具有收容空间的主体部,固定在所述主体部上的表面等离子体激元波导;激光发生件,所述激光发生件用于产生激光照射在所述表面等离子体激元波导表面;所述表面等离子体激元波导包括激光照射部,所述激光照射在所述激光照射部上产生太赫兹波段的表面等离子体激元,所述激光照射部设置在所述收容空间内;套管,所述套管套设在所述激光照射部上,且所述套管的延伸方向与所述激光照射部的延伸方向相同,所述套管包括贯穿所述套管内外表面的穿孔,所述激光经由所述穿孔穿过所述套管照射在所述激光照射部上。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中国科学技术大学 太赫兹波段的表面等离子体激元发生器
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