申请/专利权人:台湾积体电路制造股份有限公司
申请日:2024-02-22
公开(公告)日:2024-06-14
公开(公告)号:CN118192006A
主分类号:G02B6/13
分类号:G02B6/13;G02B6/132;G02B6/136;G02B6/122;G02B6/12
优先权:["20230222 US 63/486,275","20230320 US 63/491,129","20230623 US 18/340,685"]
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.14#公开
摘要:本申请的实施例提供了光学器件和制造方法,制造方法形成光学器件的第一有源层。在形成光学器件的第一有源层之后,在光学器件的第一有源层上方制造光学器件的第二有源层,其中,形成光学器件的第二有源层以产生具有晶体材料的光学器件。本申请的实施例还涉及制造光学器件的方法。
主权项:1.一种制造光学器件的方法,所述方法包括:在衬底上形成第一光学组件的第一有源层;以及在所述形成所述第一有源层之后,用晶体半导体材料制造第二光学组件。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 台湾积体电路制造股份有限公司 制造光学器件的方法
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