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【发明授权】一种金属掩膜板的焊接设备_江苏乐萌精密科技有限公司_202311773587.5 

申请/专利权人:江苏乐萌精密科技有限公司

申请日:2023-12-22

公开(公告)日:2024-06-18

公开(公告)号:CN117444438B

主分类号:B23K26/70

分类号:B23K26/70;B23K26/21;B23K26/08

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.18#授权;2024.02.13#实质审查的生效;2024.01.26#公开

摘要:本发明涉及半导体制造技术领域,尤其提供一种金属掩膜板的焊接设备。该金属掩膜板的焊接设备包括框架、薄片张紧机构、传送对位机构、承接板、框架夹紧机构、激光焊接组件及控制柜。本发明提供了一种具有自动上下料、方便调节薄片张紧力、方便调节框架夹紧力、焊点质量稳定功能的自动焊接装置,解决了工作时间长、上下料不便、作业过程中容易出现划伤、张紧薄片后与框架焊接质量不稳定等不足,极大的提升了生产效率,并实现自动化,有效避免了人力搬运造成的磕碰、划伤的同时节省了人力成本。

主权项:1.一种金属掩膜板的焊接设备,其特征在于:包括框架(10)、薄片张紧机构(20)、传送对位机构(30)、承接板(40)、框架夹紧机构(50)、激光焊接组件(60)及控制柜(70),框架(10)包括框座(11)、张紧架(13)及焊接架(12),框座(11)底面固定安装于安装地面上,框座(11)顶面中部设置有传送滑轨(16),传送滑轨(16)长度方向与框座(11)长度方向平行,框座(11)顶面四个角部处分别凸设有张紧安装柱(14),张紧架(13)底面四个角部处分别与四个张紧安装柱(14)顶面固定连接,张紧架(13)顶面四个角部处分别凸设有焊接安装柱(15),焊接架(12)底面四个角部处分别与四个焊接安装柱(15)顶面固定连接,薄片张紧机构(20)底面固定安装于张紧架(13)顶面周缘,传送对位机构(30)滑动地安装于传送滑轨(16)中,承接板(40)安装于传送对位机构(30)顶部,框架夹紧机构(50)固定安装于传送对位机构(30)顶部,激光焊接组件(60)安装于焊接架(12)顶部,控制柜(70)内侧侧壁两端分别安装于远离传送滑轨(16)一侧的两个张紧安装柱(14)的外侧侧壁,薄片张紧机构(20)包括四个张紧机构安装底板(23)及四个薄片张紧模组(22),四个张紧机构安装底板(23)呈圆周阵列分布安装于张紧架(13)顶面周缘,每个张紧机构安装底板(23)顶面两端分别凸设有张紧滑轨(231),每个张紧机构安装底板(23)顶面中部还凸设有张紧气缸(232),每个薄片张紧模组(22)底面两端分别固定安装于两个张紧滑轨(231)一端,且每个薄片张紧模组(22)底面中部与张紧气缸(232)输出轴固定连接,每个薄片张紧模组(22)包括薄片张紧板(25)及多个薄片张紧元件(24),薄片张紧板(25)底面两端分别固定安装于两个张紧滑轨(231)一端,多个薄片张紧元件(24)沿薄片张紧板(25)长度方向等距安装于薄片张紧板(25)顶面邻近张紧架(13)中心一侧,每个薄片张紧元件(24)包括薄片安装板(241)、张紧安装块(242)、缓冲块(243)、张紧安装板(240)、夹紧气缸(21)及张紧夹(244),薄片安装板(241)底面一端固定安装于薄片张紧板(25)顶面邻近张紧架(13)中心一端,张紧安装块(242)底面固定安装于薄片安装板(241)底面一端远离张紧架(13)中心一端,薄片安装板(241)顶面远离张紧安装块(242)一端凹设有滑动槽(245),缓冲块(243)滑动地安装于滑动槽(245)中,且缓冲块(243)与张紧安装块(242)侧壁之间设置有缓冲弹簧(246),缓冲块(243)由弹性材料制成,缓冲块(243)远离张紧安装块(242)一侧顶部凹设有倾斜的挤压面(247),张紧安装板(240)底面远离张紧架(13)中心一端固定安装于张紧安装块(242)顶面,且张紧安装板(240)底面另一端抵持于缓冲块(243),张紧安装板(240)顶面中部及邻近缓冲块(243)一端分别凸设有气缸安装块(249)及夹爪安装块(248),夹紧气缸(21)中部转动地安装于气缸安装块(249)中,张紧夹(244)转动地安装于夹爪安装块(248)中,且张紧夹(244)顶部与夹紧气缸(21)输出轴转动连接,张紧夹(244)底面位于张紧安装板(240)顶面一端正上方,传送对位机构(30)包括传送气缸机组(31)、升降机组(32)、y方向对位机组(33)、x方向对位机组(34)及θ角对位机组(35),传送气缸机组(31)包括两个传送气缸(311),两个传送气缸(311)底部固定安装于框座(11)顶面两侧,升降机组(32)底部滑动地安装于传送滑轨(16)中,且升降机组(32)底部两侧与两个传送气缸(311)输出轴固定连接,y方向对位机组(33)底部安装于升降机组(32)顶部,x方向对位机组(34)底部安装于y方向对位机组(33)顶部,θ角对位机组(35)底部安装于x方向对位机组(34)顶部,y方向对位机组(33)用于对顶部的x方向对位机组(34)、θ角对位机组(35)、承接板(40)及框架夹紧机构(50)在张紧架(13)的长度方向进行对位调节,x方向对位机组(34)用于对顶部的θ角对位机组(35)、承接板(40)及框架夹紧机构(50)在张紧架(13)宽度方向进行对位调节,θ角对位机组(35)用于对顶部的承接板(40)及框架夹紧机构(50)角度进行对位调节,升降机组(32)包括升降座(321)、两个左升降臂(322)、两个右升降臂(323)、驱动元件(37)、升降气缸(324)及提升座(325),升降座(321)底面滑动地安装于传送滑轨(16)中,升降座(321)顶面凹设有升降安装槽(326),两个左升降臂(322)一端分别转动地安装于升降安装槽(326)两侧侧壁一端,两个右升降臂(323)一端分别滑动地安装于升降安装槽(326)底面两侧另一端,且两个左升降臂(322)中部分别通过滑移轴与两个右升降臂(323)中部连接,两个右升降臂(323)内侧侧壁中部转动地设置有气缸连接杆(327)及过渡杆(328),且过渡杆(328)两端通过万向轴连接于两个右升降臂(323)内侧侧壁中部,驱动元件(37)安装于升降安装槽(326)中,升降气缸(324)底部一端转动地安装于升降安装槽(326)底面邻近右升降臂(323)一端中部,升降气缸(324)顶部转动地安装于气缸连接杆(327)中部,提升座(325)底部两侧侧壁一端分别转动地地安装于两个左升降臂(322)顶端,提升座(325)底部两侧侧壁另一端分布滑动地安装于两个右升降臂(323)顶端,提升座(325)顶面沿长度方向凹设有多个预设槽(39),每个右升降臂(323)底面邻近左升降臂(322)一端均凸设有滑动连接杆(329),右升降臂(323)顶面邻近左升降臂(322)一端凹设有倾斜槽(362),两个右升降臂(323)内侧侧壁邻近左升降臂(322)一端之间转动地设置有加固板(363),加固板(363)顶面两端分别凹设有倾斜的除杂槽(364),除杂槽(364)与倾斜槽(362)连通,两个左升降臂(322)顶面邻近滑动连接杆(329)一端均凸设有弧形滑动块(320),弧形滑动块(320)顶面内侧凹设有倾斜的导向面(360),导向面(360)顶面设置有粘滞层,导向面(360)沿长度方向间隔凹设有止滑孔(361),驱动元件(37)包括驱动电机(371),两个驱动安装台(372)、驱动轴(373)、驱动滑移轴(374)、四个传动带(370)、控制架(375)及四个定位控制器(376),驱动电机(371)固定安装于升降安装槽(326)底面邻近左升降臂(322)一端,两个驱动安装台(372)相对设置于邻近左升降臂(322)一端,驱动轴(373)两端转动地安装于两个驱动安装台(372)中,驱动轴(373)输出轴与驱动轴(373)一端固定连接,且驱动轴(373)长度方向与升降安装槽(326)长度方向垂直设置,驱动滑移轴(374)两端分别凸设有第一滚轮(377)及第二滚轮(378),第一滚轮(377)底部抵持安装于导向面(360),第二滚轮(378)顶部抵持于滑动连接杆(329),使得驱动滑移轴(374)夹持于两个左升降臂(322)与两个右升降臂(323)中,四个传动带(370)一端沿长度方向卷设于驱动轴(373)中,四个传动带(370)另一端绕设通过气缸连接杆(327)沿长度方向固定安装于驱动滑移轴(374)中,控制架(375)两端固定安装于升降安装槽(326)底面邻近驱动电机(371)一端,控制架(375)顶面凹设有控制滑移槽(379),且控制滑移槽(379)长度方向与升降安装槽(326)长度方向垂直设置,四个定位控制器(376)沿长度方向安装于控制滑移槽(379)中,每个定位控制器(376)顶部均设置有定位孔传感器,每个定位控制器(376)底部设置有控制电机,控制电机输出轴上设置有张紧轮(380),每个张紧轮(380)底部抵持于传动带(370)顶面一端。

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