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申请/专利权人：极光先进雷射株式会社
申请日：2022-10-30
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118235302A
主分类号：H01S3/038
分类号：H01S3/038
优先权：["20211228 US 63/266,089"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：气体激光装置具备：导电性激光腔，其包括开口及一对窗；电绝缘部，其堵住开口；第一电极，其固定于电绝缘部的位于激光腔的内部空间侧的面上；以及第二电极，其在激光腔的内部空间中与第一电极对置，第一电极具有：接触区域，其与电绝缘部的面接触；对置面，其与第二电极对置；以及第一曲面，其包含于从接触区域到对置面的区域中，朝向第一电极的外侧呈凸状弯曲，在第一电极的沿着如下的面的截面中，接触区域位于与第一曲面相比靠第一电极的内侧的位置，第一曲面是与电绝缘部非交叉的圆的圆周或者椭圆的圆周的一部分，其中面在第一电极与第二电极的分离方向以及与分离方向正交的规定方向上延伸。
主权项：1.一种气体激光装置，其中，所述气体激光装置具备：导电性激光腔，其包括开口及一对窗；电绝缘部，其堵住所述开口；第一电极，其固定于所述电绝缘部的位于所述激光腔的内部空间侧的面上；以及第二电极，其在所述激光腔的内部空间中与所述第一电极对置，在所述激光腔的内部空间封入有激光气体，所述激光腔构成为，利用放电激励所述激光气体而产生的光经由所述一对窗向所述激光腔的外部射出，其中所述放电是通过在所述第一电极与所述第二电极之间施加电压而产生的，所述第一电极具有：接触区域，其与所述电绝缘部的所述面接触；对置面，其与所述第二电极对置；以及第一曲面，其包含于从所述接触区域到所述对置面的区域中，朝向所述第一电极的外侧呈凸状弯曲，在所述第一电极的沿着如下的面的截面中，所述接触区域位于与所述第一曲面相比靠所述第一电极的内侧的位置，所述第一曲面是与所述电绝缘部非交叉的圆的圆周或者椭圆的圆周的一部分，其中所述面在所述第一电极与所述第二电极的分离方向以及与所述分离方向正交的规定方向上延伸。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 极光先进雷射株式会社 气体激光装置以及电子器件的制造方法
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