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半导体结构及其形成方法 

申请/专利权人:中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请日:2022-12-26

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN118265442A

主分类号:H10N97/00

分类号:H10N97/00;H01L23/64

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.28#公开

摘要:本申请提供一种半导体结构及其形成方法,所述半导体结构包括:衬底;第一极板,位于所述衬底上;介电层,位于所述衬底和所述第一极板上;第二极板,和所述第一极板的位置对应,且包括依次堆叠于所述介电层上的第一导电层和第二导电层,其中所述第一导电层的底面向所述第一极板的方向凹陷。所述半导体结构能够提高高压电容结构单位厚度的抗击穿能力。

主权项:1.一种半导体结构,其特征在于,包括:衬底;第一极板,位于所述衬底上;介电层,位于所述衬底和所述第一极板上;第二极板,和所述第一极板的位置对应,且包括依次堆叠于所述介电层上的第一导电层和第二导电层,其中所述第一导电层的底面向所述第一极板的方向凹陷。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 半导体结构及其形成方法

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