龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：株式会社荏原制作所
申请日：2023-12-27
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118254109A
主分类号：B24B49/00
分类号：B24B49/00;B24B37/10;B24B7/22;B24B37/005
优先权：["20221228 JP 2022-211159"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明提供一种能够更适当地计算出研磨部件的切削速率的基板研磨装置、基板处理装置、校正方法及存储介质。基板研磨装置具备：高度检测部，该高度检测部测定研磨部件的表面高度；以及切削速率计算部，该切削速率计算部基于表面高度来计算研磨部件的切削速率，在计算出的本次的切削速率在搜索范围外的情况下，切削速率计算部基于过去计算出的切削速率来校正本次的切削速率。
主权项：1.一种基板研磨装置，其特征在于，具备：高度检测部，该高度检测部测定研磨部件的表面高度；以及切削速率计算部，该切削速率计算部基于所述表面高度来计算所述研磨部件的切削速率，在计算出的本次的切削速率在搜索范围外的情况下，所述切削速率计算部基于过去计算出的切削速率来校正所述本次的切削速率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 基板研磨装置、基板处理装置、校正方法及存储介质
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号