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半导体结构及其形成方法 

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申请/专利权人:台湾积体电路制造股份有限公司

摘要:本发明的实施例提供了一种半导体结构,包括具有在电路上方形成的重分布层RDL的电路。重分布层包括多个金属层。电感器形成在最上面的金属层中,并且电路直接位于电感器下方。凸块下金属化UBM层形成在最上面的金属层上和导电连接件形成在UBM层上。本发明的实施例还提供了一种半导体结构的形成方法。

主权项:1.一种半导体结构,包括:电路;重分布层,在所述电路上方形成,其中,所述重分布层包括多个金属层;电感器,形成在最上面的金属层中,其中,所述电路直接在所述电感器下方;凸块下金属化层,形成在所述最上面的金属层上;以及导电连接件,形成在所述凸块下金属化层上。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 台湾积体电路制造股份有限公司 半导体结构及其形成方法

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