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申请/专利权人：苏州万龙达电子科技有限公司
申请日：2023-10-10
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221210986U
主分类号：B24B7/22
分类号：B24B7/22;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/22;B24B57/02
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本实用新型涉及一种碳化硅晶片加工装置，属于碳化硅加工技术领域，具体是一种用于碳化硅晶片表面加工装置，包括基座，基座的内部中间位置固定安装有打磨座，基座的顶部壁面中间位置固定安装有安装架，安装架的内部下方设置有安装杆，安装杆上设置有打磨机构以及驱动机构，打磨机构包括有打磨盘、打磨片、电动推杆以及压杆，打磨盘活动安装在安装杆的底部壁面；本实用新型达到了将碳化硅晶片放置在打磨座上即可进行加工操作的效果，节省了固定碳化硅晶片的步骤，进而提高了工作效率，解决了现有的碳化硅晶片的加工装置在对碳化硅晶片进行打磨加工时还需要对碳化硅晶片进行固定后才能加工，导致加工效率低下的问题。
主权项：1.一种用于碳化硅晶片表面加工装置，包括基座1，其特征在于：所述基座1的内部中间位置固定安装有打磨座2，基座1的顶部壁面中间位置固定安装有安装架3，安装架3的内部下方设置有安装杆4，安装杆4上设置有打磨机构以及驱动机构；打磨机构包括有打磨盘5、打磨片6、电动推杆7以及压杆12，打磨盘5活动安装在安装杆4的底部壁面，打磨片6镶嵌安装在打磨盘5的底部壁面，打磨片6的底部壁面与打磨盘5的底部壁面位于同一平面，电动推杆7固定安装在安装架3的顶部壁面，电动推杆7的输出端贯穿了安装架3与安装杆4的顶部之间固定连接，压杆12固定安装在安装杆4的底部壁面，压杆12贯穿了打磨盘5的上下壁面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州万龙达电子科技有限公司 一种用于碳化硅晶片表面加工装置
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