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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
申请日：2023-12-25
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118254099A
主分类号：B24B37/10
分类号：B24B37/10;B24B37/34;B24B49/12;B24B51/00
优先权：["20221226 JP 2022-209076"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：一种在基板研磨装置的光学式表面监视系统中采用了切换器时也能相对简单地监视切换器的动作的基板研磨装置，具有：研磨工作台；保持基板的基板保持头；光源；配置于研磨工作台内，朝向保持于基板保持头的基板投射来自光源的光，接受从基板反射的光的第一光学头；具备多个通道的切换器；将光源和第一光学头光学连接的第一光学线路；将第一光学头和切换器的多个通道中的一个通道光学连接的第二光学线路；将第一光学线路的中途和第二光学线路的中途光学连接的第三光学线路；配置于第三光学线路的第一光学滤波器；与切换器的下游侧光学连接的分光器；及接收由分光器分光出的波长的强度的测定数据的控制装置，控制装置基于测定数据来监视切换器的动作。
主权项：1.一种基板研磨装置，其特征在于，具有：研磨工作台；基板保持头，该基板保持头构成为保持基板；光源；第一光学头，该第一光学头配置于所述研磨工作台内，构成为朝向保持于所述基板保持头的基板投射来自所述光源的光，接受从基板反射的光；切换器，该切换器具备多个通道；第一光学线路，该第一光学线路将所述光源和所述第一光学头光学连接；第二光学线路，该第二光学线路将所述第一光学头和所述切换器的所述多个通道中的一个通道光学连接；第三光学线路，该第三光学线路将所述第一光学线路的中途和所述第二光学线路的中途光学连接；第一光学滤波器，该第一光学滤波器配置于所述第三光学线路；分光器，该分光器与所述切换器的下游侧光学连接；以及控制装置，该控制装置接收由所述分光器分光出的波长的强度的测定数据，所述控制装置构成为基于所述测定数据来监视所述切换器的动作。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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