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申请/专利权人：山东理工大学
申请日：2024-04-18
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118258526A
主分类号：G01L1/14
分类号：G01L1/14
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：一种带位移垂直放大结构的MEMS电容压力传感器，包括上层玻璃封装盖板和结构层，结构层包括：感压薄膜、移动梳齿、固定梳齿、悬臂垂直放大器和锚点。移动梳齿连接在两个悬臂垂直放大器中间横梁上，固定梳齿通过固定梳齿悬臂梁与膜片边缘相连，悬臂垂直放大器通过锚点与感压膜片固连，并且悬臂垂直放大器由8个小锚点与上层玻璃封装盖板固定，移动梳齿、固定梳齿、悬臂垂直放大器、固定梳齿悬臂梁以及悬臂放大器中间横梁和8个小锚点相对于感压薄膜处于悬空状态，固定梳齿和移动梳齿均设置有两组且交错配置。本发明设计的带位移垂直放大结构的梳齿MEMS电容压力传感器，通过放大梳齿垂直移动产生的相对面积变化，提高了传感器电容输出，尺寸小、灵敏度高。
主权项：1.一种带位移垂直放大结构的梳齿MEMS电容压力传感器，其特征在于：所述电容压力传感器由两部分构成，包括上层玻璃封装盖板1和结构层6，其中结构层6由电容结构层2、二氧化硅层3、背腔空腔层4组成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东理工大学 一种带位移垂直放大结构的梳齿MEMS电容压力传感器
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