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申请/专利权人：信越化学工业株式会社
申请日：2019-08-02
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN112512980B
主分类号：C03B37/018
分类号：C03B37/018;C03B8/04
优先权：["20180823 JP 2018-156708"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2021.06.15#实质审查的生效;2021.03.16#公开
摘要：根据本发明，抑制了供给到气化器的有机硅氧烷液体原料的流量变动，并且使二氧化硅微粒的沉积密度均匀。在根据本发明的制造多孔玻璃基材的方法中，内压为P1的原料罐中储存的有机硅氧烷液体原料被质量流量控制器控制为预定的流量，经过内压为P2的配管并被供给到气化器。液体原料在气化器中气化，并作为气体原料供给到燃烧器。气体原料被燃烧器燃烧以沉积由此生成的二氧化硅微粒并形成多孔玻璃基材。本发明的特征在于在上述制造方法中P1≤P2。
主权项：1.一种光纤用多孔玻璃基材的制造方法，其包括：由质量流量控制器控制成预定的流量，通过内压为P2的配管将储存在内压为P1的原料罐中的有机硅氧烷的液体原料输送到气化器中；在所述气化器中气化所述液体原料，并将气化的原料作为气体原料供给到燃烧器；以及通过沉积二氧化硅微粒形成多孔玻璃基材，所述二氧化硅微粒通过在所述燃烧器中燃烧所述气体原料而形成，其中，满足P1≤P2，所述制造方法还包括使用送液泵将所述原料罐内的所述液体原料输送到所述质量流量控制器的步骤，其中，当供给到所述质量流量控制器的液体原料的压力为P3时，满足P1≤P2＜P3；以及在输送所述液体原料的步骤中，一旦所述送液泵将所述液体原料的压力升压到P4并且在经由压力损失部将该压力减小到P3时，将所述液体原料供给到所述质量流量控制器，使得满足P1≤P2＜P3＜P4。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 信越化学工业株式会社 光纤用多孔玻璃基材的制造方法及制造装置
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