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申请/专利权人:三星电子株式会社
摘要:一种半导体器件可以包括:外围电路结构;源极结构,在外围电路结构上;第一电容器电极,在外围电路结构上;电极绝缘层,至少部分地围绕第一电容器电极;栅极堆叠,在源极结构上;存储沟道结构,延伸穿过栅极堆叠;阶梯绝缘层,在栅极堆叠和电极绝缘层上;第二电容器电极,在第一电容器电极上并延伸穿过阶梯绝缘层;以及贯穿通孔,延伸穿过阶梯绝缘层和电极绝缘层。
主权项:1.一种半导体器件,包括:外围电路结构;源极结构,在所述外围电路结构上;第一电容器电极,在所述外围电路结构上;电极绝缘层,至少部分地围绕所述第一电容器电极;栅极堆叠,在所述源极结构上;存储沟道结构,延伸穿过所述栅极堆叠;阶梯绝缘层,在所述栅极堆叠和所述电极绝缘层上;第二电容器电极,在所述第一电容器电极上并且延伸穿过所述阶梯绝缘层;以及贯穿通孔,延伸穿过所述阶梯绝缘层和所述电极绝缘层。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 三星电子株式会社 半导体器件和包括该半导体器件的电子系统
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