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申请/专利权人：国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司

摘要：本发明提供一种阶梯式透明柔性集成电路基板的厚度均匀性检测方法，涉及厚度检测技术领域，包括：步骤1：通过预设抽样方法对同一生产批次下的基板进行选取，得到抽样基板；步骤2：基于预设检测设备对所述抽样基板进行厚度检测，得到初始厚度检测数据；步骤3：对所述初始厚度检测数据进行预处理，并进行数据核验得到待处理数据；步骤4：结合在方法数据库中选取的预设分析方法对所述待处理数据进行分析，并对所有所述抽样基板对应的分析结果进行共识得到批次‑厚度分析结果。本发明可以精确获取柔性基板的厚度数据，提升透明柔性基板的厚度均匀性的计算精度，从而保证基板的产品质量。

主权项：1.一种阶梯式透明柔性集成电路基板的厚度均匀性检测方法，其特征在于，包括：步骤1：通过预设抽样方法对同一生产批次下的基板进行选取，得到抽样基板；步骤2：基于预设检测设备对所述抽样基板进行厚度检测，得到初始厚度检测数据；步骤3：对所述初始厚度检测数据进行预处理，并进行数据核验得到待处理数据；步骤4：结合在方法数据库中选取的预设分析方法对所述待处理数据进行分析，并对所有所述抽样基板对应的分析结果进行共识得到批次-厚度分析结果；其中，步骤3中，包括：对所述初始厚度检测数据进行异常分析，并对异常分析的分析结果进行特征提取，构建得到异常特征集；基于所述异常特征集，在方法数据库中选取得到对应的预处理方法，并利用所述预处理方法对所述初始厚度检测数据进行预处理，得到第一数据；对所述第一数据进行数据核验，将满足第一阈值条件的所述第一数据输出为待处理数据；其中，步骤4中，结合在方法数据库中选取的预设分析方法对所述待处理数据进行分析，包括：对所述待处理数据进行一次内容解析，并进行聚类分析，构建得到各抽样基板下的第一厚度数据；获取各抽样基板对应的预设标识信息，并标注至对应的所述第一厚度数据中，输出第二厚度数据；在结构数据库中获取与抽样基板对应生产批次的结构设计数据，输出基板结构信息；同时，对所述第二厚度数据进行二次解析，且结合所述基板结构信息对同一生产批次下的各抽样基板对应的所述第二厚度数据进行数据划分，构建得到抽样基板下各结构的第三厚度数据；将所述基板结构信息输入预设标准数据库中选取得到基板中各结构对应的结构厚度标准数据，并将同一抽样基板下的所述结构厚度标准数据与第三厚度数据进行对比分析，得到第一分析数据；同时，在预设标准数据库中获取抽样基板对应批次的整体厚度标准数据，并与对应的抽样基板下的第一厚度数据中的整体厚度数据进行对比分析，得到第二分析数据；对所述第一分析数据以及第二分析数据进行特征提取，并基于提取特征在方法数据库中选取得到对应的预设分析方法；基于所述预设分析方法对所述第一分析数据以及第二分析数据进行处理，得到各抽样基板的厚度分析数据。

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