龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：苏州德龙激光股份有限公司
申请日：2024-04-25
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN118143466A
主分类号：B23K26/38
分类号：B23K26/38;B23K26/064;B23K26/073
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.07#公开
摘要：本发明涉及基于空间光调制器的碳化硅晶锭激光分片装置及方法，激光器的输出光路上依次布置有扩束镜和空间光调制器，空间光调制器的输出光路上依次设有第一透镜、第一反射镜、第二透镜以及第二反射镜，第二反射镜的反射光路上布置有物镜，物镜正对于待加工碳化硅晶锭；第一透镜焦距是第二透镜焦距的两倍。空间光调制器加载生成的圆形平顶光束和横向多焦点结合的全息相位图，聚焦在碳化硅内部生成可调间距的横向双焦点的圆形平顶光束，控制空间光调制器所加载的相位图，生成多个横向焦点，焦点间距通过相位图进行调整；利用空间光调制器光斑整形在碳化硅晶锭内部聚焦成横向双焦点，利用圆形平顶光束进行分片，对碳化硅晶锭分片加工，提升分片效率。
主权项：1.基于空间光调制器的碳化硅晶锭激光分片装置，其特征在于：激光器1的输出光路上依次布置有扩束镜2和空间光调制器3，空间光调制器3的输出光路上依次设有第一透镜4、第一反射镜5、第二透镜6以及第二反射镜7，第二反射镜7的反射光路上布置有物镜8，物镜8正对于待加工碳化硅晶锭；第一透镜4焦距是第二透镜6焦距的两倍，空间光调制器3连接计算机10。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州德龙激光股份有限公司 基于空间光调制器的碳化硅晶锭激光分片装置及其方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号