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申请/专利权人：连科半导体有限公司
摘要：本发明属于卧式碳化炉技术领域，具体的说是一种卧式碳化硅外延炉，包括单层石英炉室一及对称设置在单层石英炉室一两侧中心表面上的密封法兰，活动搭接在密封法兰外侧表面上的滑块，活动套接在滑块、密封法兰和单层石英炉室一内侧壁面上的石英管，所述滑块的外侧表面上固定安装有端口全防护挤压单元。本发明将石英管的一端对接到套筒的内侧壁面上，同时配合套筒内侧壁面上的限位槽对石英管的一端位置进行限定，同时配合套筒内侧壁面上的贴合软条一增加与石英管表面之间的摩擦力，套筒内圈一层的贴合软条一可以有效且均匀的覆盖在石英管的表面上，进而增加石英管与套筒之间在位置上的限定。
主权项：1.一种卧式碳化硅外延炉，包括单层石英炉室一（11）及对称设置在单层石英炉室一（11）两侧中心表面上的密封法兰（12），活动搭接在密封法兰（12）外侧表面上的滑块（14），活动套接在滑块（14）、密封法兰（12）和单层石英炉室一（11）内侧壁面上的石英管（13），其特征在于：所述滑块（14）的外侧表面上固定安装有端口全防护挤压单元，所述端口全防护挤压单元包括固定连接在滑块（14）顶部表面上的定位套圈（141），所述定位套圈（141）的内侧壁面上可拆卸式安装有套筒（142），所述套筒（142）的内侧壁面上活动套接有推杆（144），所述推杆（144）的一端上固定连接有活动套接在套筒（142）内侧壁面上的锥形盘（145），所述套筒（142）的内侧壁面且位于中间位置上固定连接有包裹在锥形盘（145）外侧表面上的扩张软套头（146），所述扩张软套头（146）的外侧表面固定连接有贴合软条二（147），所述套筒（142）的内侧壁面上设置有贴合软条一（143），所述扩张软套头（146）和套筒（142）的衔接位置处设置有限位槽（148）。
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权利要求：
百度查询： 连科半导体有限公司 一种卧式碳化硅外延炉
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