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申请/专利权人：物元半导体技术(青岛)有限公司
摘要：本发明涉及一种半导体器件的制造方法及半导体器件，其中，半导体器件的制造方法至少包括以下步骤：提供一半导体衬底，在半导体衬底上形成N‑外延层；在N‑外延层中形成由表面打开至内部的至少两个沟槽；通过第一次外延填充在沟槽内形成本征填充层，本征填充层覆盖沟槽的底部和侧面；通过至少一次外延填充形成覆盖本征填充层的至少一层P型填充层，至少一层P型填充层将剩余的沟槽部分填满；执行退火工艺，以使P型填充层中的P型杂质向本征填充层扩散但不越过本征填充层与N‑外延层的边界。通过该半导体器件的制造方法可以避免杂质直接扩散至N型区而影响N型区的宽度，保证了器件较低的导通电阻。
主权项：1.一种半导体器件的制造方法，其特征在于，至少包括以下步骤：提供一半导体衬底，在所述半导体衬底上形成N-外延层；在所述N-外延层中形成由表面打开至内部的至少两个沟槽；通过第一次外延填充在所述沟槽内形成本征填充层，所述本征填充层覆盖所述沟槽的底部和侧面；通过至少一次外延填充形成覆盖所述本征填充层的至少一层P型填充层，所述至少一层P型填充层将剩余的沟槽部分填满；执行退火工艺，以使所述P型填充层中的P型杂质向所述本征填充层扩散但不越过所述本征填充层与所述N-外延层的边界。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 物元半导体技术(青岛)有限公司 半导体器件的制造方法及半导体器件
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