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申请/专利权人：江苏集芯先进材料有限公司
申请日：2024-02-29
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN118147739A
主分类号：C30B23/00
分类号：C30B23/00;C30B29/36;C30B33/00
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.07#公开
摘要：本发明公开了一种碳化硅晶锭处理装置，包括固定组件和剥离组件，所述固定组件用于存放、固定待处理的碳化硅晶锭和坩埚盖；所述剥离组件用于对所述固定组件上待处理的碳化硅晶锭和坩埚盖进行剥离；所述固定组件能够自转地安装在所述剥离组件的一侧，或所述剥离组件能够沿所述固定组件的周向方向转动地安装在所述固定组件的一侧。根据本发明的碳化硅晶锭处理装置，可实现从周向对碳化硅晶锭和坩埚盖之间连接处的完全分离，以将碳化硅晶锭从坩埚盖上取下。整个操作过程简单，对人员的能力要求低，降低人力和时间成本，效率高。
主权项：1.一种碳化硅晶锭处理装置，其特征在于，包括：固定组件，所述固定组件用于存放、固定待处理的碳化硅晶锭和坩埚盖；剥离组件，所述剥离组件用于对所述固定组件上待处理的碳化硅晶锭和坩埚盖进行剥离；其中，所述固定组件能够自转地安装在所述剥离组件的一侧，或所述剥离组件能够沿所述固定组件的周向方向转动地安装在所述固定组件的一侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏集芯先进材料有限公司 碳化硅晶锭处理装置
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