龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：无锡华润上华科技有限公司
申请日：2021-07-27
公开（公告）日：2023-02-03
公开（公告）号：CN115685663A
主分类号：G03F1/36
分类号：G03F1/36;G03F7/20
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2023.02.21#实质审查的生效;2023.02.03#公开
摘要：本发明提供一种带SRAF的OPC修正方法，该方法包括：设计试验，获得添加SRAF图形的最优规则；使用原有的OPC模型；对目标图形添加SRAF图形，形成预设图形；使用原有的OPC模型对预设图形进行运算修正，在运算修正过程中SRAF图形作为目标图形的一部分一起参与OPC运算，并保持SRAF图形不动。通过在对带SRAF的目标图形进行修正过程中，将SRAF图形与目标图形作为一个整体一起参与OPC运算，并将SRAF图形保持不动，即SRAF图形不参与OPC模型对目标图形边缘修正的动作，只考虑SRAF图形对目标图形光学环境的影响，确保了OPC修正的精确性；同时在修正过程中不需要额外制作带SRAF的建模光刻版，节省了光刻版的制版费用；另外利用现有的OPC模型，有效节省了大量OPC建模所需时间，提高修正效率。
主权项：1.一种带SRAF的OPC修正方法，其特征在于，所述修正方法包括：设计试验，获得添加SRAF图形的最优规则；使用原有的OPC模型；对目标图形添加所述SRAF图形，形成预设图形；使用所述原有的OPC模型对所述预设图形进行运算修正，其中，在运算修正过程中所述SRAF图形作为所述目标图形的一部分一起参与OPC运算，并保持所述SRAF图形不动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡华润上华科技有限公司 带SRAF的OPC修正方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号